凍干機(jī)EH2600愛德華真空羅茨泵維修

半導(dǎo)體加工
我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及世界每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。

應(yīng)用

●真空冶金加工
●薄膜覆層技術(shù)
●制藥冷凍干燥
●冷凍和空調(diào)系統(tǒng)抽空、干燥和回填
●變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠
●燈具制造
●低溫容器抽空
●化工行業(yè)中的真空干燥和蒸餾
●半導(dǎo)體設(shè)備制造
●用于高真空應(yīng)用的前級(jí)泵

潔凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤(rùn)滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)作
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級(jí)的電機(jī)，即可實(shí)現(xiàn)在高吸入壓強(qiáng)下的運(yùn)作。

用途
•  照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體。
•  鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
•  真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
•  真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐。
•  分析儀器、檢漏設(shè)備、CO2激光設(shè)備。

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