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IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上，增添了更多的功能

，可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過程的大價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨

率的速率和厚度測量，速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業(yè)中的。IC6 具有其

他石英晶體控制器比擬的性能、品質(zhì)和功能，賦予您的過程的可重復(fù)性。

功能

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率低的情況下

Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

支持zui多六個來源同時共鍍膜

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r

100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄

強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，

14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）

6 個標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

可容納多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜

可選以太網(wǎng)通信

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

光學(xué)鍍膜

真空鍍膜機(jī)英福康振蕩器單元配薄膜控制儀

鍍